蜜桃TV下载制品表面如何气相层积处理

一种蜜桃TV下载件表面沉积碳化硅的方法，包括如下步骤：(1)蜜桃TV下载表面除杂：首先将蜜桃TV下载件表面的杂质通过形成金属卤化物升华除去；(2)CVD沉积：将处理后的蜜桃TV下载件送入CVD反应炉，通过化学气相沉积反应在蜜桃TV下载件表面沉积碳化硅涂层。本发明通过在CVD反应炉之前设置预处理炉，将蜜桃TV下载件含有的金属杂质通过与卤族气体反应形成金属氯化物升华除去，有利于纯化蜜桃TV下载件，避免其含有的杂质带入后续的系统。另外，通过超声清洗，进一步清洁蜜桃TV下载件的表面，避免附着的颗粒物存在影响碳化硅涂层的结合强度。